设备
器件电测的基本设备要求是（1)探针台（参见下图），它将探针定位在器件上；（2）开关箱用来施加电压、电流、器件的极性；（3）显示结果的方法。当同时测量许多器件时，探针固定在印制电路板上，我们称它为探针卡（prob card）。这里的测试卡和晶圆电测工艺的测试卡相同。探测结果将通过示波器或特别的数字伏特计上的数值显示出来。示波器所显示的曲线，横轴表示电压，纵轴表示电流。它显示了每种测量的电压/电流之间的关系。对于每种测试接下来的部分是显示取样测试结果。处于量产阶段时，进行数字化测试，并在读出器上显示其结果。这些测量系统有储存和收集数据的能力。
在先进的系统里，探针台可自动按顺序探测几个芯片。开关可自动允许设备按已预定的顺序进行一系列测试。自动系统还包括测试结果的打印输出和对数据的分析。就像手动操作一样，系统会对其单个测试给出解释。示波器上显示的电压、电流形状和关系对理解器件是如何工作的非常有帮助。
所有器件的测量方法基本相同。用接触探针对元件施加电压，测量流过接触点间电流。测量结果会显示在示波器和显示屏上。所得曲线的形状由器件的尺寸、掺杂情况及结的性能决定。电流曲线可能由于器件的电阻或结的存在而发生变化。正常的工作器件将显示已知标准的曲线图。其基本关系式是欧姆定律：
R=V/I
电阻器
通过接触电阻两端并施加电压对电阻器进行测量。探针间的电流由材料的性质决定，在电学术语里，称之为电阻率。在测试过程中，施加电压从0开始变化到某一更高的值，显示屏上x轴显示电压值，，轴显示电流值（参见下图）。
电阻值是通过电压除以相应电流值计算得到的。有人可能会问：“为什么不能用仪表对电压、电流值进行简单直接测量来计算电阻值呢？”。换言之，为什么将数值显示在屏幕上？答案是：这依赖于所得曲线图信息的质量如何。一个电阻器的电压一电流关系应该是线性的（直线）。对线性的任何偏离都意味着工艺流程存在问题，例如大的接触电阻或结漏电。
