绿色芯片厂
晶圆制造的另一大压力来自于环境方面的法规和关注。晶圆制造过程使用很多危险化学品，并产生废物。在工厂里，对化学品处理、储存及使用的控制是芯片厂环境、安全和健康（ESH）项目的一部分。当前对工艺发展的研究中比较活跃的是减少对化学品的使用或者使用危害较小的化学品。SIA路线图显示到2012年水的消耗将从每片晶圆30加仑降到2加仑。该路线图提倡降低每片晶圆消耗的能量，并停止对聚氯乙烯（PVC）的使用。从安全方面考虑，较低危险的化学品会带来成本降低，因为厂内处理和储存，运输成本以及特殊废料处理设施的成本都会相应降低。
统计制程控制（SPC）
SPC是用来维持工艺控制和提高良品率的一种有效和必要的工具。遗憾的是，SPC是基于统计学，并使用数学语言。我们将试图通过图表来解释常用的统计工具的背景、用途及意义，将不使用数学公式。
要解决的第一个问题是：“工艺控制的对象是什么？”，答案很简单：使生产的产品符合设计和操作规范，并且能达到足够高的生产率以获取利润。对这个简单目标构成挑战的是那些受到多种参数影响的工艺过程，这些参数还包括晶圆的固有条件。
没有监测和调整的工艺是无法在控制下运行的。工艺控制提供信息来做出必要的改变。统计制程控制的方式是，依靠建立的数学法则来控制制造芯片的工艺类型。工艺控制技术可以很简单，也可以非常复杂。最简单的（也是最熟悉的）方法是对一组数字〈称为总体）平均值的计算。我们也知道，总体的极端值（范围）和平均值，提供给我们关于数据在总体中分布情况的概念。